企業(yè)名稱 | 上海微電子裝備(集團)股份有限公司 | 統(tǒng)一社會代碼 | 91310000736664790J |
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法人代表 | 干* | 成立日期 | 2002-03-07 |
公司類型 | 股份有限公司(非上市、國有控股) | 所在地區(qū) | 上海 |
聯系方式 | 021-51315131 | 企業(yè)官方 | http://www.smee.com.cn |
企業(yè)地址 | 上海市 張江高科技園區(qū)張東路1525號 | 企業(yè)郵箱 | info@smee.com.cn |
經營范圍 | 半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務,經營本企業(yè)自產產品的出口業(yè)務和本企業(yè)所需的機械設備、零配件、原輔材料的進口業(yè)務(但國家限定公司經營或禁止進出口的商品及技術除外)?!疽婪毥浥鷾实捻椖浚浵嚓P部門批準后方可開展經營活動】 |
序號 | 專利號/專利申請?zhí)?/th> | 專利名稱 |
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1 | ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 |
2 | ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 |
3 | ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 |
上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。